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Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium: Das System Flusssäure-Salpetersäure-Schwefelsäure/Wasser

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Pages: 180

Language: German

Format: Eine elektronische Version eines gedruckten Buches - Unterstützte Lesegerätegruppen: PC/MAC/eReader/Tablet

Publisher: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften (27 Nov. 2014)

By: Marcus Lippold(Author)

Der Siliciumauflö:seprozess in Flusssä:ure-Salpetersä:ure-Schwefelsä:ure/Wasser-Lö:sungen unterscheidet sich vom Ä:tzprozess in Flusssä:ure-Salpetersä:ure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivitä:t gegenü:ber Silicium, erzielte Oberflä:chenmorpholgien sowie die beim Ä:tzen entstehenden gelö:sten und gasfö:rmigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefelsä:ure-reichen Ä:tzlö:sungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine Schwefelsä:ure-reiche Ä:tzlö:sung weisen vergleichend zu Solarzellen mit Standardtexturen hö:here Wirkungsgrade auf. Spektroskopische Untersuchungen zeigen, dass sowohl das Salpetersä:uremolekü:l als auch das Nitrylion am Siliciumauflö:seprozess beteiligt sind. Das vorliegende Werk beschreibt zudem die erstmalige Identifizierung von Trifluorsilan und Hexafluordisiloxan als gasfö:rmige Produkte des sauren nasschemischen Ä:tzens von Silicium.

Originalfassung in deutscher Sprache von als PDF zum kostenlosen Download findet


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